一种利用盐酸和四氯化硅制备多晶硅的系统及方法

来源：年旅网

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利说明书

（21）申请号 CN201410078276.1 （22）申请日 2014.03.05

（71）申请人重庆海洲化学品有限公司

地址 401221 重庆(长寿)经济技术开发区齐心大道33号

（10）申请公布号 CN103820852B

（43）申请公布日 2016.08.24

（72）发明人何天全;程政

（74）专利代理机构北京同恒源知识产权代理有限公司

代理人赵荣之

（51）Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

（）发明名称

一种利用盐酸和四氯化硅制备多晶硅的系统及方法

（57）摘要

本发明公开了一种制备多晶硅的系

统，包括SiHCl 法律状态

法律状态公告日

2014-05-28 2014-06-25 2015-09-30 2016-08-24 2017-04-05

公开

实质审查的生效

专利申请权、专利权的转移授权

专利权的保全及其解除

法律状态信息

公开

法律状态

实质审查的生效

专利申请权、专利权的转移授权

专利权的保全及其解除

权利要求说明书

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说明书

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