一种锗烷提纯系统[实用新型专利]

来源：年旅网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种锗烷提纯系统专利类型：实用新型专利

发明人：陈国富,胡超群,吴春弟,林志民申请号：CN201621038626.2申请日：20160906公开号：CN205990235U公开日：20170301

摘要：本实用新型公开了一种锗烷提纯系统，涉及气体分配领域，包括主管道、至少一锗烷源和至少一收集装置，主管道上依次串联有二氧化碳吸收装置，4A分子筛装置、13X分子筛装置和粉尘过滤装置，二氧化碳吸收装置、4A分子筛装置、13X分子筛装置和粉尘过滤装置的进气口和出气口均配设有隔离阀，主管道靠近二氧化碳吸收装置的一端与锗烷源相连接，靠近粉尘过滤装置的一端与收集装置相连接。本实用新型的有益效果：可以系统的，有效的去除锗烷中的二氧化碳、双锗烷、三锗烷、N2、水分、粉尘等杂质，达到提纯锗烷的目的。

申请人：福建博纯材料有限公司

地址：362000 福建省泉州市宝洲路万达中心写字楼B座702室

国籍：CN

代理机构：泉州市博一专利事务所

代理人：洪渊源

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