真空度范围10~1010~1010~1010~1010~100123真空度P=[10-18(V-0.0)]×10P=[10-18(V-1.0)]×10P=[10-18(V-1.5)]×10P=[10-18(V-2.0)]×10P=[10-18(V-2.5)]×104电压范围0.0~0.5V0.5~1.0V1.0~1.5V1.5~2.0V2.0~2.5V2.5~3.0V3.0~3.5V3.5~4.0V4.0~4.5V4.5~5.0V104~103210P=[10-18(V-0.5)]×103210-1-110-1~10-210-2~10-310~10-3-4P=[10-18(V-3.0)]×10-2P=[10-18(V-3.5)]×10-3P=[10-18(V-4.0)]×10-410-4~10-5P=[10-18(V-4.5)]×10-5
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