一种酸性光亮镀铜电镀液及其电镀方法[发明专利]

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专利名称：一种酸性光亮镀铜电镀液及其电镀方法专利类型：发明专利

发明人：张斌珍,杨昕,南雪莉,徐苏坪,王雄师,赵亚敏申请号：CN201510262497.9申请日：20150522公开号：CN104878419A公开日：20150902

摘要：本发明为一种酸性光亮镀铜电镀液，其组分包括五水硫酸铜、硫酸、氯离子、二硫基苯并咪唑、聚乙二醇、十二烷基硫酸钠、脂肪胺乙氧基磺化物、多胺与环氧乙烷加成物。电镀方法为：含磷0.2%的铜板作为阳极放入电镀液中，将工件放入电镀液中作为阴极，在电镀液的温度为18-35℃、pH值为3.5-4.5，阴极电流密度为1.5-8A/dm，阳极电流密度为0.5-3A/dm，电压为2-10V，阳极与阴极的面积比为1-2:1，阳极与阴极的距离为10-30cm的条件下，电镀10-15min后工件上即可得到厚度为12-15μm的镀铜层。通过本发明电镀液及电镀方法可以得到整平性、光亮性更好，镀层较厚的镀铜层。

申请人：中北大学

地址：030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号

国籍：CN

代理机构：太原科卫专利事务所(普通合伙)

代理人：朱源

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