RT-100电阻率测试仪操作手册

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Semilab RT 系列电阻率测试设备主要包括： • Rt-100 电阻率测试仪

无接触、无损伤、快速体电阻率测试： - 采用涡流场原理，测试体电阻率 - 可以测量单晶、多晶，无需表面处理 - 可用来分类测试锅底料、锭、棒、片等

- 测试范围：0.5 – 20 ΩCM (选配功能：0.01 – 0.5 ΩCM) - 可选配无接触P/N型号测试

• Rt-110 电阻率厚度测试仪

无接触硅片体电阻率测试：

- 采用涡流场原理，测试硅片的体电阻率

- 电阻率范围：0.5 – 20 ΩCM (选配功能：0.01 – 0.5 ΩCM) - 精度： 2 ΩCM以下：3% 2 ΩCM以上：5% - 测试速度： 1s / 点

- 可选加无接触电容法测硅片厚度功能 - 可选配无接触硅锭、回炉料电阻率测试 - 可选配无接触P/N型号测试

I.原理

Eddy current measurement 涡流法

当通有交流电的圆形线圈靠接样品时，线圈中的磁场会在样品诱导形成环形的电流叫做涡流电流，涡流电流与样品的电导率成正比，涡流法测试实际上测试的是电流在样品中的损失。

系统的输出信号与功率成正比，功率用来保证振动的振幅恒定，此信号在电阻率为特定的值时最强，向大小两个方向减弱，因此两个不同的电阻率会对应一个相同的信号。为进行区分，也需要对频率的去谐进行测试，低电阻率的样品去谐很明显，高电阻率的样品则不很明显，因此，去谐对对应相同信号的不同电阻率的样品有很好的区分度。

频率

对涡流电流的反馈影响很大，一般选择在125-135MHz，这个频率适于测试0.5-25ohmcm的样品。

几何形状

如样品不平或者尺寸很大，几何特性例如曲率，边缘等等。会影响涡流电流的反馈。如果涡流电流探头接触表面，几何的影响就会减小。

接近

探头线圈越接近表面，对线圈的影响越大。因此，当线圈与样品的距离增大时敏感度越低。

渗透深度

因电流密度的分布，被测样品的表面反馈最强，随着深度增大而减小。可以很方便的用数学计算来定义”标准注入深度”,即当涡流电流的值变为表面值的1/e时。 标准注入深度 • 频率增加时减小 • 电导率增加时减小

• 渗透性增加时减小（在常用频率内含铁的样品注入深度很小） 经常提到的所谓“有效注入深度”通常定义为标准深度的3倍，在此处电流密度降低到表面值的约3%。这个深度通常认为对涡流电流场已经不构成影响。

II.安装

1.设备由电脑控制，可方便的测试电阻率由0.5--25　cm的样品。 在测试范围内的测试精度是±5%，

2.电压：100—230v ，单相线，50或60Hz

III.软件操作 1. 启动

启动后设备需要3分钟的预热，以保证探笔的正常工作，启动后界面如下：

彩色电阻率显示条功能按键 功能窗口 测试的信号以毫伏为单位，计算出的电阻率以　cm表示，signal后面有小字体的电压值，如果样品电阻率如果小于0.2　cm此电压值会大于50mv，这种情况下电阻率超过量程，显示…　cm.

在同一点进行测量时，最小电阻率对应的是最大的电压振幅值，以最小值作为样品电阻率值，用绿色大号字体显示出来，然后继续对最小值进行搜索。如果移开探笔后再置于样品表面，电阻率同样会在彩色电阻率显示条中显示，以便快速对样品进行分类排序。

如果样品值超过量程范围会有报警声，同时电阻率彩色显示条会闪烁

报警。彩色显示条中的颜色可以根据需要进行设置，

2.功能键

Min，Max：用于设置彩色电阻率显示条的最小、最大的范围。

Colors：设置颜色数量及跨度值。 Comp：补偿，将电压的偏差清零。 Snd On 和Snd Off:报警声音的开和关。 Rate：每秒测试次数，可从1设置到100。 Save：用于设置参数的保存。

Signal：电压信号随时间变化的图像。 Resist：电阻率随时间变化的图像。 Stat：

Count：测试次数 Minimum：最小值 Maximum：最大值 Average：平均值

Deviation：平均偏差值

Calib：校准。

2. 校准界面：

首先点击Comp进行补偿，然后点击Calib，出现如下对话框:

Add:新增校准数据

Clear：清除所有校准数据

Last：清除最后一项校准数据 Time：校准时间调整

Load：读取已存储的校准文件 Save：保存当前校准文件

Calibrations Constants：A，B，C，D 校准参数，无需改

动

IV.操作

1， 打开主电源

2， 将探笔置于样品表面平坦处，手持保持稳定大约1

秒钟，测试结果将显示在屏幕上。 3，

z 样品厚度至少应该1—3cm z 尽量测试样品表面平坦处 z 确保探笔与样品保持稳定

z 如果single的绝对值大于4mv，在测试前要做补偿

4， 校准

4．1 RT-100校准：

校准至少需要5块样品，样品的值要覆盖所测量程。 a．补偿

b．测试第一块样品

c．点击Add显示Voltage“Enter Value”窗口

d．直接点击ok，出现Resistivity“Enter Value”窗口

e．输入实际的电阻率值，点击ok输入的值将显示在calibration窗口中

f．将5个校准值都输入之后，点击save存储

g．存储完毕，校准结束

4.2RT110厚度电阻率校正步骤

打开真空泵，打开电源，预热5分钟后进入主界面。Auto打开为自动模

式，关闭后为手动模式，手动模式下打开vacuum才能测量。

厚度校正步骤：

片子的选择：至少需要3片标准样片，最大与最小厚度至少相差200um，例如：选择厚度为200um，350um，500um校正片3片。

1． 切换到手动模式。

2． 在Calib模式下，点击Thick.

3． 点击Comp,放入硅片，点击vacuum，开始测量，点击Add,出现 Frequency对话框，不改变Frequency值，点击OK。出现Thick 对话框，输入所放硅片厚度值，点击ok，点击vacuum后，取出 硅片。

4． 其他片子的校正，同步骤3。

5． 校正结束，点击Calib模式下的save,命名文件名保存。 6． 点击原屏幕下的save保存。