专利名称：老化测试的方法和老化测试的测量程序专利类型：发明专利发明人：佐佐木卓
申请号：CN200510108776.6申请日：20050930公开号：CN1755379A公开日：20060405
摘要：一种老化测试的方法包括步骤(a)和(b)。在步骤(a)中，通过位于探针板(1，1’)上的第一探针(4，5)来执行第一半导体器件(DUT1，DUT2)的操作测试。在步骤(b)中，当执行操作测试时，通过位于探针板(1，1’)上的第二探针(6)将应力施加到第二半导体器件(DUT1’，DUT2’)。
申请人：恩益禧电子股份有限公司
地址：日本神奈川
国籍：JP
代理机构：中原信达知识产权代理有限责任公司
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