光学位置测量装置[发明专利]

来源：年旅网

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专利名称：光学位置测量装置专利类型：发明专利发明人：K.森迪希

申请号：CN201710443302.X申请日：20170613公开号：CN107490339A公开日：20171219

摘要：本发明涉及光学位置测量装置。它包括量具，其与两个物体之一连接并且具有测量刻度，其具有刻度区域沿着至少一个刻度方向的周期性布置。位置测量装置另外包括与另一物体连接的扫描单元，其具有多个光学元件，光学元件相对于该量具可移动地布置。经由对扫描单元的光学元件的布置和构造产生扫描光路，其中形成干涉的子光束关于对称平面镜像对称地传播并且或者V形地射入到量具上和/或者经历从量具的V形反向反射。对称平面围绕旋转轴倾斜所定义的倾斜角，旋转轴平行于量具的表面定向并且垂直于刻度方向延伸。测量刻度具有超结构并且在一个刻度周期内具有多于两个的光栅跃变点，其中光栅跃变点在一个刻度周期内非对称地布置。

申请人：约翰内斯·海德汉博士有限公司

地址：德国特劳恩罗伊特

国籍：DE

代理机构：中国专利代理()有限公司

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