专利名称：微机电感测装置及其制作方法专利类型：发明专利发明人：王传蔚,蔡明翰申请号：CN201110087886.4申请日：20110406公开号：CN102730623A公开日：20121017
摘要：本发明提出一种微机电感测装置，其包含一基板、一微机电元件区、一膜层、一黏着层、一盖体、至少一个开口及多个导线。该基板包括一第一表面及一相对该第一表面的第二表面。该微机电元件区位于该第一表面上，且包括一腔室。该膜层覆盖于该微机电元件区上，并使该腔室成为一密闭空间。该盖体通过该黏着层固定于该微机电元件区上。该开口位于该盖体或该黏着层，且该开口允许该微机电感测装置的外部空气施压力于该膜层。该多个导线电性连接该微机电元件区，并延伸至该第二表面上。
申请人：原相科技股份有限公司
地址：中国新竹
国籍：CN
代理机构：中原信达知识产权代理有限责任公司
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