(12)发明专利申请
(21)申请号 CN201110311169.5 (22)申请日 2011.10.14
(71)申请人 日月光半导造股份有限公司
地址 中国高雄市
(10)申请公布号 CN102435798A
(43)申请公布日 2012.05.02
(72)发明人 曹育诚
(74)专利代理机构 北京市柳沈律师事务所
代理人 陶凤波
(51)Int.CI
G01R1/073;
权利要求说明书 说明书 幅图
()发明名称
探针卡与测试方法
(57)摘要
本发明公开一种探针卡与测试方法。该探
针卡整合了具有不同冲程的多个探针。当面对待测物上的不同高度的接点时,此具有不同冲程的多个探针可同时接触此不同高度的接点,以对待测物进行测试。此外,应用此探针卡的测试方法也被提出。
法律状态
法律状态公告日
2012-05-02 2012-06-27 2015-05-20
公开
法律状态信息
公开
实质审查的生效 授权
法律状态
实质审查的生效 授权
权利要求说明书
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说明书
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