一种高精度多光源调制光纤微触觉三维形貌测量方法[发明专利]

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专利名称：一种高精度多光源调制光纤微触觉三维形貌测量方

法

专利类型：发明专利发明人：张宏伟,张国雄,李凯申请号：CN201010210358.9申请日：20100628公开号：CN101871771A公开日：20101027

摘要：本发明涉及一种高精度光纤微触觉三维形貌测量方法，主要目的是用于测量具有高深宽比的微观结构，如微孔(包括盲孔)三维尺寸测量和MEMS器件三维尺寸测量等。将玻璃或聚苯乙烯材质的探球与两光纤纤尾固结或烧结在一起，组成微触觉探测头，在两光纤中通入两种以上不同激光，驱动两光纤使探球从不同方向接近或接触被测物时，从探球中反射回两光纤的不同种激光的性态发生变化，用光分离器将反射回各光纤的混合反射光中的不同种激光分离提取，传送到光电检测器件执行光电转换，光电转换获得的电讯号由后续信号处理电路处理求出光纤中不同光信号的变化量，解算求出被测物体的空间坐标位置，精确测量出微观结构三维形貌的高、深、宽比值。

申请人：天津大学

地址：300072 天津市南开区卫津路92号

国籍：CN

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