风机过滤单元[发明专利]

来源：年旅网

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专利名称：风机过滤单元专利类型：发明专利发明人：宋新丰,王丽荣申请号：CN201410010252.2申请日：20140109公开号：CN103711734A公开日：20140409

摘要：本发明公开了一种风机过滤单元，安装在半导体立式炉设备的侧壁上，包括：壳体，所述壳体为长方体空心结构，壳体的正面开设有出风口；第一过滤器，所述第一过滤器固定安装在壳体的出风口处；空腔，所述第一过滤器与所述壳体之间设有供气流通过的空腔；所述壳体的底部设有凸出的离心风机安装位，所述离心风机安装在离心风机安装位上，壳体底部设有进气口，所述进气口将半导体立式炉设备内的气流吸入，经过离心风机并排送气体至空腔，经第一过滤器过滤后，提供气流至半导体立式炉设备内部。本发明提供的风机过滤单元结构简单，占用空间小，充分的利用半导体立式炉设备中的空间，为微环境提供稳定的、高洁净度的、均匀的水平气流。

申请人：北京七星华创电子股份有限公司

地址：100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号

国籍：CN

代理机构：上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

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