专利名称:在屏蔽的栅极场效应晶体管中形成多晶硅层间电介
质的结构和方法
专利类型:发明专利
发明人:罗伯特·赫里克,迪安·E·普罗布斯特,弗雷德·塞西诺申请号:CN200680028769.8申请日:20060804公开号:CN101238581A公开日:20080806
摘要:如下所述形成一种屏蔽的栅极沟槽FET。在第一导电类型的硅区域(204)中形成沟槽(202),该沟槽(202)包括通过屏蔽电介质(206)与硅区域(204)绝缘的屏蔽电极(208)。沿屏蔽电极(208)的上表面形成包括热氧化物层(210)和共形电介质层(212)的多晶硅层间电介质(IPD)(214)。至少顺着上部沟槽(202)侧壁形成栅极电介质(216)。在沟槽中形成栅电极(218),使得栅电极通过IPD与屏蔽电极绝缘。
申请人:飞兆半导体公司
地址:美国缅因州
国籍:US
代理机构:北京康信知识产权代理有限责任公司
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