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制备铜铟镓硒系列薄膜太阳电池光吸收层的硒化装置[实用新型专利]

来源：年旅网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：制备铜铟镓硒系列薄膜太阳电池光吸收层的硒化装

置

专利类型：实用新型专利

发明人：赵彦民,刘兴江,方小红,王庆华,冯金晖申请号：CN200920251710.6申请日：20091215公开号：CN201556635U公开日：20100818

摘要：本实用新型涉及一种制备铜铟镓硒系列薄膜太阳电池光吸收层的硒化装置，包括反应腔体；反应腔体中有石英舟、基片加热器和两者之间的基片支架；连接在反应腔体上的抽真空系统；石英舟下方的加热炉，反应腔体外部有一个通过阀门与反应腔体连为一体的转换腔体；可在两腔体之间内部移动的磁力拉杆；石英舟外围有一个高度低于基片支架的导向桶。本实用新型由于采用两个腔体，保证了基片升降温度的控制，减少了吸收层杂相的产生；采用导向桶加热带，保证了反应物的充分反应，减少了反应物的用量；采用密集卤钨灯对基片加热，保证了基片的加热均匀，提高了电池的性能和重复性。

申请人：中国电子科技集团公司第十八研究所

地址：300381 天津市南开区李七庄凌庄子道18号

国籍：CN

代理机构：天津盛理知识产权代理有限公司

代理人：王来佳

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