光罩基板以及光罩

来源：年旅网

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201510861398.2 （22）申请日 2015.12.01

（71）申请人冠橙科技股份有限公司

地址中国苗栗县竹南镇科东三路20号2楼

（10）申请公布号 CN1004092A

（43）申请公布日 2016.03.16

（72）发明人戴昌铭

（74）专利代理机构无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙)

代理人张欢勇

（51）Int.CI

G03F1/56; G03F1/60; G03F7/004; G03F7/032;

权利要求说明书说明书幅图

（）发明名称

光罩基板以及光罩

（57）摘要

本发明系揭露一种光罩基板，包含透明基

板而将曝光光线予以投送于该透明基板之上，以及黑色矩阵光阻层，经配置而包括炭黑分散液、具有胺基的共聚物及/或具有季铵盐的共聚物、含有分散成分的有机溶剂、具有羧基的黏合剂树

脂、不饱和单体、以及卤素光的光敏材料或波长范围在480-0纳米的绿光的光敏材料，使得该黑色矩阵光阻层系作为一个单层以作为遮光膜及曝光的感光膜，以及使得该黑色矩阵光阻层的表面经制造而为防止化学处理操作的损伤及机械性刻刮。

法律状态

法律状态公告日2016-03-16 2016-03-16 2016-04-13 2016-04-13 2020-01-10

法律状态信息

公开公开

实质审查的生效实质审查的生效

发明专利申请公布后的视为撤回

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公开公开

实质审查的生效实质审查的生效

发明专利申请公布后的视为撤回

权利要求说明书

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说明书

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