基于石墨烯-硫系玻璃平面波导型近中红外光调制器[发明专利]

来源：年旅网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：基于石墨烯-硫系玻璃平面波导型近中红外光调制

器

专利类型：发明专利

发明人：陆荣国,叶胜威,田朝辉,刘天良,陈德军,张尚剑,刘永申请号：CN2016102177.1申请日：20160426公开号：CN105700203A公开日：20160622

摘要：本发明公开了一种基于石墨烯‐硫系玻璃平面波导型近中红外光调制器，属于电光调制器技术领域，解决基于1.55～3μm近中红外的光学信号的集成光子器件调制和解调的难题。本发明包括基底层、设置在基底层上的脊形光波导层、第一支柱和第二支柱，在脊形光波导层上设置有第一石墨烯层和第二石墨烯层，第一石墨烯层延伸至第一支柱的上表面，第二石墨烯层延伸至第二支柱的上表面，在脊形光波导层与第一石墨烯层和第二石墨烯层、第一石墨烯层与第二石墨烯层、第一石墨烯层与第一支柱、第二石墨烯层与第二支柱之间分别设置有隔离介质层，第一支柱上的第一石墨烯层上设置有第一电极，第二支柱上的第二石墨烯层上设置有第二电极。本发明用于集成光子器件中的信号调制和解调。

申请人：电子科技大学

地址：611731 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号

国籍：CN

代理机构：成都弘毅天承知识产权代理有限公司

代理人：徐金琼

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