各种泵

涡轮分子泵（turbinemolecularpump）

由转子和定子组成，在转子上安有动轮叶，在定子上安有静轮叶，动静轮叶相间安排，在轮叶上装有许多斜置的叶片。按照动量传输的原理，碰撞到高速旋转的动轮叶叶片上的分子，在离开该表面时就获得了与表面速率相近的切向速率。在动轮叶不断的旋转下，形成气体从一方抽到另一方的抽气效果，具有一定的抽速。分子泵正常工作需小于10-2Torr的前置压强，经充分除气后的分子泵可获得10-10Torr的超高真空。由于动轮叶工作时处于高速旋转状态，所以它不能在磁场中工作。

分子筛吸附泵（molecularsieveabsorbingpump）

利用分子筛在低温下的物理吸附作用进行抽气的泵。

分子筛是一种复杂的硅铝酸物晶体，其通式为[xM2/n. • Al2O3• ySiO2] • mH2O，其中M为碱金属离子，n是它的价数。在加热的同时抽空脱去结晶水后，晶体的物理结构没有变化，结果成为具有很大内表面的蜂窝状结构。其表面积一般在600mg左右，它被液氮冷却到液氮温度时就大量的吸气，产生抽气的效果，可作为其他高真空泵的前级泵，能获得洁净的真空。

扩散泵（diffusionpump）

泵中有一股高速定向喷射的蒸气流，气体扩散进入蒸气流便被带往前方，达到抽气目的的泵称为扩散泵，是获得高真空的有效抽机。

蒸气流由工作液体加热转化而来，工作液体有汞和扩散泵油两类。泵底部为蒸发

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器，内贮有扩散泵油。上部为进气口，右侧旁管为出气口，在工作时出气口处由机械泵提供前置真空，当油被加热时，产生的油蒸气沿着导流管经伞形喷嘴向下喷出，因喷嘴外面有机械泵提供的真空，故油蒸气流可喷出一长段距离，构成一个向出气口方向运动的射流。射流最后碰上有冷却水冷却的器壁时，凝结为液体而流回蒸发器形成循环。

由进气口进入泵内的气体分子，一旦落入蒸气流中，便获得向下运动的动量而往下飞去。由于射流具有高速、高密度及高分子量，故能有效地带走气体分子，所以在射流的界面以内气体分子浓度很小，气体在界面两边形成很大的浓度差，使被抽气体不断地向射流内扩散并被带向出口处。在那里被机械泵抽走，而获得高真空。由计算可得理论上泵的单位面积的抽速为`S=\\frac{bar(V)}{4}\\frac{1}{1 \\frac{bar(V)}{4W}}`，其中$bar(V)$为气体分子的热运动平均速度，W为蒸气流分子的速度。

机械泵（mechanicalpump）

应用机械的方法周期性地改变泵内吸气空腔的容积，使被抽容器中气体不断膨胀从而被抽走的泵称为机械真空泵。

目前最通用的旋片式机械泵如图所示，泵内有一圆柱形空腔，空腔上装着进气管道和出气阀门，空腔内有一偏心安装的圆柱形转子，转子的顶端保持与空腔壁相接触，转子上开有两个槽，槽内安放两旋片，旋片间有一弹簧，于是当转子旋转时，两旋片的顶端始终沿着腔的内壁滑动。整个空腔是放在油箱内的。在旋转过程中⑴表示正在吸气；⑵表示吸气截止；⑶表示吸气空腔另一次吸气，排气空腔

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继续压缩；⑷表示排气空腔内的气体已被压缩到压力大于一个大气压，冲开排气阀而逸出到大气中。这样循环往复，气体就不断的排出而完成了抽气的作用。

低温泵（cryopump）

用低温表面冷凝气体以达到抽气目的的泵称为低温泵。空气是由多种气体混合的混合气体，各组分都有它与温度对应的饱和蒸气压。当温度降到20K时，除了氖、氢、氦三种组分外其他组分的饱和蒸气压都降到10-10托以下，这时可获得1.2×10-2托的真空。温度降到4.2K时，只剩下氦未冷凝，真空度可达5×10-5托。它可获得没有油气污染的洁净的真空空间。由于泵的冷表面可以直接放入需抽真空的空间，甚至是真空空间的一个组成部分，所以它不需用管道连接，冷凝板的面积可做得很大，具有很大的抽气速率，是一般的扩散泵难以达到的。

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