一种防腐蚀的单晶硅片[实用新型专利]

来源：年旅网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种防腐蚀的单晶硅片专利类型：实用新型专利发明人：张弓

申请号：CN202020868205.2申请日：20200522公开号：CN212085016U公开日：20201204

摘要：本实用新型公开了一种防腐蚀的单晶硅片，包括单晶硅片本体，所述单晶硅片本体的外表面设置有材料基层，所述材料基层包括石英石材料层，所述石英石材料层远离材料基层的一侧设置有金刚石基层，所述材料基层远离单晶硅片本体的一侧设置有加强层，所述加强层远离材料基层的一侧设置有制绒层，所述制绒层远离加强层的一侧设置有防腐层，所述防腐层包括二氧化硅层，所述二氧化硅层远离防腐层的一侧设置有单晶硅薄膜层。本实用新型通过设置单晶硅片本体、材料基层、加强层、制绒层和防腐层的相互配合，达到了防腐蚀性能好的优点，不会影响单晶硅片的使用效果，可以满足使用者的需求，延长了单晶硅片的使用寿命。

申请人：新沂市棋盘工业集中区建设发展有限公司

地址：221400 江苏省徐州市新沂市棋盘镇墨新路西侧

国籍：CN

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