探针针压校正方法及其校正设备[发明专利]

来源：年旅网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：探针针压校正方法及其校正设备专利类型：发明专利

发明人：范维如,刘永钦,洪嘉宏,陈兴洲申请号：CN201210462130.8申请日：20121116公开号：CN103207293A公开日：20130717

摘要：本发明涉及一种探针针压校正方法，其在一第一探针及一第二探针与一待测物电性接触之后，使该第一探针离开该待测物之后，再往该待测物进给并接触该待测物，过程中，撷取一与各个探针电连接的针压检测单元的跨电压，并在侦测到该跨电压自一恒定值下降之后，停止该第一探针的进给动作。最后，使该第二探针重复该第一探针的前述动作，由此，可确保各个探针能以实质上相同的针压与该待测物确实电性接触。本发明还同时公开了一种可实施前述针压校正方法的探针针压校正设备。

申请人：旺矽科技股份有限公司

地址：中国新竹县竹北市中和街155号

国籍：CN

代理机构：北京纪凯知识产权代理有限公司

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