尾气回收系统及其换热器[发明专利]

来源：年旅网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：尾气回收系统及其换热器专利类型：发明专利

发明人：朱建军,周礼誉,张永红申请号：CN201310122377.X申请日：20130410公开号：CN103212270A公开日：20130724

摘要：本发明涉及半导作技术，提供一种换热器，用于尾气处理，其包括尾气通道，所述尾气通道由若干条具有共同入口和出口的第一支管构成；填充有吸热流体的吸热通道，所述吸热通道包括与所述第一支管数量相当的第二支管，所述第一支管嵌套于所述第二支管内，用于所述吸热流体与尾气进行热交换。本发明还提供采用这种换热器组装的尾气回收系统。本发明不仅解决了MOCVD尾气对环境的污染问题，节省原材料消耗，降低成本，还能实现尾气零排放，促进半导体照明产品早日替代传统照明产品，实现绿色环保的目标。

申请人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

地址：215123 江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号

国籍：CN

代理机构：深圳市铭粤知识产权代理有限公司

更多信息请下载全文后查看

因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容

查看全文