真空材料的出气以及出气率等相关计算

来源：年旅网

真空材料的出气以及出气率等相关计算

书山有路勤为径，学海无涯苦作舟

真空材料的出气以及出气率等相关计算

任何固体材料在大气环境下都能溶解、吸附一些气体。当材料置于真空中时，就会因解溶、解吸而出气。对通常真空设备来说，材料的出气是真空系统中最主要的气源。常用的出气速率单位有：Pa-L／s-cm2。

出气速率通常与材料中的气体含量和温度成正比。因此有时(如电真空器件)也用高温下材料的出气总量作为选材依据。出气总量的单位：考虑体积含量为主时可用Pa-L／g；考虑表面含量为主时则用Pa-L／cm2。

材料的出气速率除了与材料性质有关外，还和材料的制造工艺，储存情况等

有关。另外，材料的预处理工艺(如：清洗、烘烤、气体放电轰击、表面处理等) 对材料的出气速率影响也很大。因此选用材料出气速率的数据时必须考虑这些情况。

材料出气速率是温度的函数，表示为

q=qoexp(-E/RT)(5)则单位时间内容器器壁表面出气量为

Qm=A-q(6)式中q 出气速率

qo 常数

E 出气活化能

R 气体普适常数

T 绝对温度

Qm 器壁表面出气量

A 出气表面的面积

因为出气速率与温度有关，因此在设计真空系统时必须选用实际使用时的温

度数据。如无此数据，则可根据两个不同温度下的数值按式(5)进行估算。另外

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