专利名称：一种等离子体气相沉积装置专利类型：实用新型专利
发明人：江南,马洪兵,张军安,褚伍波,胡付生申请号：CN201820045570.6申请日：20180111公开号：CN2071425U公开日：20180921
摘要：本实用新型公开了一种等离子体气相沉积装置包括用于气相沉积的反应腔、与反应腔连通的第一抽气通道、包围反应腔的隔离腔以及与隔离腔连通的第二抽气通道，通过第一抽气通道和第二抽气通道可向外抽气，从而调节反应腔与隔离腔的真空度。
申请人：宁波晶钻工业科技有限公司
地址：315200 浙江省宁波市镇海区庄市街道中官西路777号
国籍：CN
代理机构：广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙)
代理人：胡拥军
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