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一种大面积薄区透射电镜样品的制备方法

来源：年旅网

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利说明书

（21）申请号 CN201610515722.X （22）申请日 2016.07.01

（71）申请人中国科学院地质与地球物理研究所

地址 100029 北京市朝阳区北土城西路19号

（10）申请公布号 CN105973674B

（43）申请公布日 2017.03.29

（72）发明人谷立新;赵旭晁;林杨挺

（74）专利代理机构北京金智普华知识产权代理有限公司

代理人巴晓艳

（51）Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

（）发明名称

一种大面积薄区透射电镜样品的制备方法

（57）摘要

本发明涉及一种制备大面积透射电镜

样品的方法，将样品切割研磨成长条，然后用氩离子束进行离子切割目标区域厚度到10μm；之后，把样品转移到离子束抛光设备上平整放置，样品台可以调节角度，且能够旋转和摆动，用氩离子束依次用18°、12°、9°、6°、3°角对样品进行抛光减薄，用体视镜可以观察样品变化；最后用低电压的离子束进行样品的清洗，避免了样品制备过程中产生的非晶层，可以获得高质量具有大面积薄区的透射电镜样品，从而应用

于矿物、陨石等复杂材料的透射电镜测试和结合纳米粒子探针/电子探针等原位分析技术中。法律状态

法律状态公告日

2016-09-28 2016-10-26 2017-03-29

法律状态信息

公开

实质审查的生效授权

法律状态

公开

实质审查的生效授权

权利要求说明书

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说明书

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