基于自聚焦原理的光栅精密测量结构及测量方法[发明专利]

来源：年旅网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：基于自聚焦原理的光栅精密测量结构及测量方法专利类型：发明专利发明人：蒋敏兰,郑华清申请号：CN201410142452.3申请日：20140410公开号：CN103994722A公开日：20140820

摘要：本发明涉及传感系统光学结构。基于自聚焦原理的光栅精密测量结构及测量方法，包括用于产生激光光束的激光器、光学棱镜、光栅、光电探测器，光学棱镜包括一反射镜、一分光镜、一准直镜；光栅包括第一光栅、第二光栅，以第一光栅作为一分光光栅，以第二光栅作为一测量光栅；激光器的出光口设有分光光栅，分光光栅将激光器发出的激光分为三束衍射光，分光光栅上方设有分光镜，分光镜的左方设有反射镜，反射镜的反射面位于右侧，反射镜向左倾斜设置，反射镜的上方设有准直镜，准直镜的上方设有物镜，物镜的上方设有测量光栅；分光镜的右方设有一柱面镜，柱面镜右方设有光电探测器。本发明读数系统成本低，且体积小、集成化程度高。

申请人：浙江师范大学

地址：321001 浙江省金华市迎宾大道688号

国籍：CN

代理机构：上海三和万国知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：陈伟勇

更多信息请下载全文后查看

因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容

查看全文