专利名称：MEMS麦克风及移动终端专利类型：实用新型专利发明人：万蔡辛,朱佳辉申请号：CN201520620657.8申请日：20150817公开号：CN204948351U公开日：20160106
摘要：公开了一种MEMS麦克风，包括振膜、背极板以及所述振膜的锚区与背极板的之间的第一支撑层，其中，所述背极板设置有第一凹槽，背极焊盘设置于所述第一凹槽。
申请人：北京卓锐微技术有限公司
地址：100191 北京市海淀区知春路23号量子银座1002室
国籍：CN
代理机构：北京成创同维知识产权代理有限公司
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容
Copyright © 2019- oldu.cn 版权所有 浙ICP备2024123271号-1
违法及侵权请联系：TEL:199 1889 7713 E-MAIL:2724546146@qq.com
本站由北京市万商天勤律师事务所王兴未律师提供法律服务