专利名称：靶安装机构专利类型：发明专利发明人：石丸泰,大山典生申请号：CN201180022714.7申请日：20110628公开号：CN102884222A公开日：20130116
摘要：本发明的靶安装机构，对阴极的连结部能装拆地安装溅射装置所使用的圆筒形的靶。所述靶具备圆筒形基体和覆盖该基体的靶材，并且具有配有所述靶材的区域和在除该区域以外的两端侧露出所述基体的连结区域。在所述阴极的连结部形成内置该连结部和所述连结区域的大致圆筒形的夹具。并且，在所述连结部及所述连结区域内置于所述夹具的状态下，形成于所述靶的所述连结区域的第一卡合凸部和形成于所述夹具的内周面的第二卡合凸部只沿着所述靶的圆周方向相对移动，从而卡合。
申请人：日本爱发科泰克能株式会社
地址：日本神奈川县
国籍：JP
代理机构：北京德琦知识产权代理有限公司
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