一种光波导传感芯片、其制备方法及用途[发明专利]

来源：年旅网

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专利名称：一种光波导传感芯片、其制备方法及用途专利类型：发明专利发明人：孙树清,丁宇,张亚飞申请号：CN2015103350.X申请日：20150617公开号：CN104991088A公开日：20151021

摘要：一种光波导传感芯片的制备方法，包括：将金膜基底浸入巯基硅烷的有机溶液中处理；将处理后的金膜基底用酸溶液处理；将多孔的阳极氧化铝薄膜粘贴于金膜表面；将粘贴于金膜表面的多孔的氧化铝膜浸入十六烷基三甲基溴化铵(CTAB)、水、乙醇、浓氨水和正硅酸乙酯(TEOS)的混合溶液中，静置一段时间；将处理后的产品用酸溶液处理以去除多孔的氧化铝膜。一种光波导传感芯片及其用于非标记光学生物检测或重金属离子检测的用途，该光波导传感芯片是所述方法制备的基于纳米柱阵列薄膜的光波导传感芯片。该光波导传感芯片可用于进行高灵敏度的非标记光学生物检测或重金属离子检测。

申请人：清华大学深圳研究生院

地址：518055 广东省深圳市南山区西丽大学城清华校区

国籍：CN

代理机构：深圳新创友知识产权代理有限公司

代理人：王震宇

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