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一种PMMA膜制备方法及PMMA膜电阻式柔性压力传感器[发明专利]

来源：年旅网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种PMMA膜制备方法及PMMA膜电阻式柔性压

力传感器

专利类型：发明专利

发明人：魏雄邦,肖伦,全勇,陈志,庞韩英,吴天昊申请号：CN201610044359.8申请日：20160122公开号：CN1056978A公开日：20160622

摘要：该发明公开了一种PMMA膜制备方法及PMMA膜电阻式柔性压力传感器，涉及柔性压力传感器结构和制备，具体涉及PMMA薄膜制备工艺以及使用PMMA薄膜的电阻式柔性压力传感器的结构。该传感器包括：上电极、上电极衬底、下电极、下电极衬底、封装结构，上电极位于上电极衬底下表面，下电极位于下电极衬底的上表面，上电极与下电极之间留有空腔，所述上、下电极包括：导电薄膜、设置于导电薄膜上的银电极，与银电极相连的铜导线，下电极衬底为PDMS薄膜，其特征在于上电极衬底为PMMA薄膜。本发明克服了PDMS薄膜的自身容易塌陷粘连的缺点，提高使用PDMS制备的对电极式压力传感器稳定性，从而拓宽PDMS对电极式柔性压力传感器的使用领域，并且极大的降低了压力传感器的成本。

申请人：电子科技大学

地址：611731 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号

国籍：CN

代理机构：电子科技大学专利中心

代理人：张杨

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