专利名称：MEMS器件、MEMS器件的系统、制作MEMS器
件的方法
专利类型：发明专利发明人：A.德赫
申请号：CN201410019257.1申请日：20140116公开号：CN103922269A公开日：20140716
摘要：MEMS器件、MEMS器件的系统、制作MEMS器件的方法。一种MEMS器件、制作MEMS器件的方法和MEMS器件的系统被示出。在一个实施例中，MEMS器件包括第一聚合物层，设置在第一聚合物层上的MEMS衬底和由MEMS衬底支撑的MEMS结构。该MEMS器件进一步包括在MEMS衬底中设置的第一开口和在第一聚合物层中设置的第二开口。
申请人：英飞凌科技股份有限公司
地址：德国瑙伊比贝尔格市坎芘昂1-12号
国籍：DE
代理机构：中国专利代理()有限公司
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