专利名称：High temperature heat plate pedestal发明人：マーガビオ、パトリック申请号：JP2019570836申请日：20180625公开号：JP2020526012A公开日：20200827
专利附图：
摘要：In one form the pedestal assembly comprises an upper member, a lowermember coupled to the upper member, and a thermal phase diffuser disposed betweenthe upper and lower members within the sealed volume.The thermal phase diffuserdiffuses heat by phase change of the working fluid in the sealed volume.The assembly /pedestal is operated at a temperature above 1000 C and can be operated with advancedtemperature uniformity, and in one form aluminum nitride (AlN) material.Diagram
申请人：ワットロー・エレクトリック・マニュファクチャリング・カンパニー
地址：アメリカ合衆国、ミズーリ州 ６３１４６ セントルイス、ラックランド・ロード １２００１
国籍：US
代理人：特許業務法人スズエ国際特許事務所
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