专利名称：带有钝化层的电容型湿度传感器专利类型：发明专利发明人：浜本和明,丰田稻男申请号：CN03107340.9申请日：20030320公开号：CN1445538A公开日：20031001
摘要：电容型湿度传感器包括衬底(10)、两个电极(31、32)、钝化层(40)和一个湿度敏感层(50)。两个电极(31、32)配置于衬底(10)上并在同一平面上，而且是互相对向设置，中间有一个间隔。钝化层(40)覆盖两个电极(31、32)。湿度敏感层(50)配置于间隔上或间隔之间，并且湿度敏感层(50)的介电常数相应于湿度而改变。随着间隔的加宽，湿度传感器中的滞后减小。特别是，当间隔等于钝化层(40)两倍或更大时，滞后可减小到小于相对湿度的10％RH。
申请人：株式会社电装
地址：日本爱知县刈谷市
国籍：JP
代理机构：中国专利代理()有限公司
代理人：崔幼平
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