一种用于电容式微机械加速度计的温度补偿装置[发明专利]

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专利名称：一种用于电容式微机械加速度计的温度补偿装置专利类型：发明专利

发明人：张霞,胡世昌,朱辉杰,金仲和申请号：CN201010182499.4申请日：20100525公开号：CN1018530A公开日：20101013

摘要：本发明公开了一种用于电容式微机械加速度计的温度补偿装置，主要包括相干解调器、低通滤波器和温度补偿电路，相干解调器的输出端与低通滤波器的输入端相连，低通滤波器的输出端与温度补偿电路的输入端相连。本发明利用电容式微机械加速度传感器的内部电容随温度的变化作为加速度计输出信号的补偿参考信号，不需要热敏电阻或集成温度传感器来测量加速度传感器的温度，简化温度补偿装置的结构，降低成本；排除温度测量误差对补偿精度的影响，提高温度补偿精度；且不需在电容式微机械加速度传感器上安装使用温度传感器，避免加速度传感器的金属管壳内因存在温度梯度而造成的温度测量误差，进一步提高温度补偿精度。

申请人：浙江大学

地址：310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号

国籍：CN

代理机构：杭州求是专利事务所有限公司

代理人：陈昱彤

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