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磁控溅射室和包含其的真空镀膜机[实用新型专利]

来源:年旅网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:磁控溅射室和包含其的真空镀膜机专利类型:实用新型专利发明人:王叔晖,刘竹杨申请号:CN201320025737.X申请日:20130117公开号:CN203096161U公开日:20130731

摘要:本实用新型提供一种磁控溅射室和包含其的真空镀膜机,其包括有一具有安装孔的真空室和一具有靶座的磁控溅射靶源,该磁控溅射室包括一绝缘件、一O型圈、一绝缘板和一锁紧螺母,该靶座通过该绝缘件和该O型圈抵迫于该安装孔的内壁上,并通过位于该安装孔的外壁上的该绝缘板和该锁紧螺母固封。本实用新型的磁控溅射室具有密封绝缘性高和密封结构简单的优点。

申请人:上海法德机械设备有限公司

地址:201616 上海市松江区小昆山镇崇南南路2号

国籍:CN

代理机构:上海智信专利代理有限公司

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