多图像粒子检测系统和方法[发明专利]

来源：年旅网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：多图像粒子检测系统和方法专利类型：发明专利

发明人：A·本迪克塞,G·乌,M·C·科汉斯基,M·L·纳尔逊申请号：CN201780081690.X申请日：20171219公开号：CN110140085A公开日：20190816

摘要：一种方法包括：获得物体表面的至少一部分的第一图像的图像特征的第一图像部位，获得物体表面的至少一部分的第二图像中的图像特征的第二图像部位，和/或获得第一图像部位和第二图像部位之间的位移值，在基本平行于检测器的图像表面和/或物体表面的方向上在所述图像表面和物体表面之间的不同相对位置处获得所述第一图像和第二图像；和由计算机系统基于对第二图像部位和/或位移值的分析和在第二图像中的图像特征相对于所述第一图像部位的预期图像特征部位，确定物理特征在检查表面处或不在检查表面处。

申请人：ASML控股股份有限公司

地址：荷兰维德霍温

国籍：NL

代理机构：中科专利商标代理有限责任公司

代理人：王静

更多信息请下载全文后查看

因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容

查看全文