一种溅射旋转靶材直线度检验装置[发明专利]

来源：年旅网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种溅射旋转靶材直线度检验装置专利类型：发明专利发明人：戴丽娜

申请号：CN202011427993.2申请日：20201207公开号：CN112683200A公开日：20210420

摘要：本发明公开了一种溅射旋转靶材直线度检验装置，涉及溅射旋转靶材检测技术领域，为解决现有的旋转靶材的圆心与检测装置中心不处于同一条直线从而易出现检测偏差的问题。所述底座的内部设置有调节腔，所述底座上端的中间位置处分别安装有第一固定座和第二固定座，且第一固定座与第二固定座以底座的中心线为轴线呈对称分布，所述第一固定座和第二固定座的外部设置有旋转靶材，所述底座上端的一侧固定设置有支撑柱，所述支撑柱的内部滑动设置有活动柱，且活动柱的上端延伸至支撑柱的上方，所述活动柱上端的一侧设置有安装杆，所述安装杆的下端安装有电动推杆，所述电动推杆的下方设置有安装头，所述安装头的两侧安装有红外线探头。

申请人：苏州科亿嘉新技术开发有限公司

地址：215000 江苏省苏州市高新区通安镇真北路88号7号楼4楼

国籍：CN

代理机构：苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：季栋林

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